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陶瓷靶材

濺射靶材(cai)(cai)(cai)主(zhu)要用(yong)(yong)于真(zhen)空(kong)鍍膜(mo)設備(bei)中，通過物理氣(qi)相沉積（PVD）在(zai)基片上涂覆薄膜(mo)層，以(yi)增(zeng)加新的(de)(de)功能或創建微(wei)小(xiao)的(de)(de)連接，如薄膜(mo)晶體管（TFT）。用(yong)(yong)于制(zhi)備(bei)濺射靶材(cai)(cai)(cai)的(de)(de)材(cai)(cai)(cai)料種類繁多(duo)，主(zhu)要取(qu)決于最終的(de)(de)用(yong)(yong)途，因(yin)此(ci)既可(ke)以(yi)由純金(jin)屬制(zhi)成(cheng)，也可(ke)以(yi)由非常(chang)復雜的(de)(de)合金(jin)材(cai)(cai)(cai)料制(zhi)成(cheng)。我(wo)們(men)可(ke)以(yi)為各行業(ye)客戶提(ti)供不同材(cai)(cai)(cai)料所制(zhi)成(cheng)的(de)(de)平(ping)面靶材(cai)(cai)(cai)和旋(xuan)轉靶材(cai)(cai)(cai)，我(wo)們(men)的(de)(de)制(zhi)備(bei)技術(shu)先進，保(bao)證產(chan)品達到最佳的(de)(de)使用(yong)(yong)性能。

先導電科產品手冊

濺射靶材產品列表

硫化鎘靶 (CdS)

應用：薄膜太陽能電池

元素符號 : CdS
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶
外觀 : 橘紅色
典型密度 : ≥4.35g/cm3
常規尺寸 : 150*150*10mm
其它尺寸可定制

碲化鎘靶 (CdTe)

應用：薄膜太陽能電池

元素符號 : CdTe
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶
外觀 : 棕黑色，黑色
典型密度 : ≥5.56g/cm3
常規尺寸 : 150*150*10mm
其它尺寸可定制

碲鋅鎘靶 (CdZnTe)

應用：薄膜太陽能電池

元素符號 : CdZnTe
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉靶
外觀 : 黑色
常規尺寸 : 平面靶: 200*110*20mm
旋轉靶: L3000mm per set
其它尺寸可定制

銅銦鎵硒靶 (CIGS)

銅銦鎵硒靶材用于制造銅銦鎵硒薄膜太陽能電池，無需加入額外的硒源，通過真空濺射，直接形成P型CIGS膜層，應用于薄膜太陽能電池。

元素符號 : CIGS
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉靶
外觀 : 黑色固體
典型密度 : 5.5g/cm3
常規尺寸 : 平面靶: Φ230mm
旋轉靶: 單節長150mm
其它尺寸可定制

氧化銦鎵鋅靶 (IGZO)

氧化銦鎵鋅 (IGZO)是新型顯示技術的關鍵氧化物半導體材料。在TFT中，可取代Si材料作為溝道層材料。其優異性能可使器件實現更高的分辨率、超低功耗和低噪聲，可用于制造新型高性能LCD和OLED顯示器。

元素符號 : IGZO
成分 : In:Ga:Zn:O=1:1:1:4 (原子比)
其它成分可定制
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉靶
外觀 : 亮灰色
典型密度 : ≥6.30g/cm3
常規尺寸 : 平面靶: 單片靶材L300-1100mm
旋轉靶: 單節靶材L300-700mm
其他尺寸可定制

硫化銦靶 (In2S3)

硫化銦靶材是光電子和光伏行業的重要原材料之一，它可以作為CIGS薄膜太陽能電池中硫化鎘的有效無毒替代品，應用于薄膜太陽能電池。

元素符號 : In2S3
成分 : 可根據客戶要求定制
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶
外觀 : 黑色，略泛紅
典型密度 : 4.6g/cm3
常規尺寸 : Φ230mm
其它尺寸可定制

硒化銦靶 (In2Se3)

硒化銦靶材因其不含重金屬鎘，是CIGS薄膜太陽能電池中硫化鎘的潛在替代品，應用于薄膜太陽能電池。

元素符號 : In2Se3
成分 : 可根據客戶要求定制
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶
外觀 : 黑色
典型密度 : 5.7g/cm3
常規尺寸 : Φ230mm
其它尺寸可定制

氧化銦錫靶 (ITO)

氧化銦錫 (ITO) 是一種重要的透明導電氧化物(TCO)，具有良好的導電性和光學性能，可通過濺射或蒸發沉積薄的導電透明層，作為電極材料被廣泛應用于TFT-LCD、LED、OLED、觸摸屏、智能玻璃、光伏等領域。

元素符號 : ITO
成分 : In2O3/SnO2: 90/10wt%
其它成分可定制
純度 : 4N+
形狀 : 平面靶；旋轉靶
外觀 : 灰黑色
典型密度 : ≥7.13g/cm3
常規尺寸 : 平面靶: 單片靶材L300-1500mm
旋轉靶: 單節靶材L300-900mm
其他尺寸可定制